水用電子冷熱式温調機ペルサーモ®（水冷）
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ユーティリティ設備
製品説明・スペック紹介
ペルチェ温調方式と定電流制御で、最大60%の省エネを実現
●冷却能力 200～700W
●温度制御範囲 10～60℃
●制御精度 ±0.03℃
特長
１．電子冷熱温調機 / 水冷式 / 水槽内蔵
２．特注対応で±0.01℃も可能
３．省エネ
ペルチェ温調方式と定電流制御(電流値リニアPID制御)で、最大60%の省エネを実現。
用途
・ウェハレジスト液の温調
・エッチング液の温調
・光ディスク塗布液の温調
・液晶ガラス塗布液の温調
・ウェハ、ガラス基板のプレート温調
※薬液を温調する場合は間接温調が必要です。
取り扱い企業
- 企業名
- オリオン機械株式会社同企業の情報・その他製品を見る
- 所在地
- 〒532-0011 大阪府大阪市淀川区西中島４－１０－１
- 電話
- 06-6305-1425
- Webサイト
- サービス提供エリア
-
- 関東
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